多孔質セラミックス
耐高温で通気性もよい特性を持つ。大量の真空チャックを生産し、自動化システムを運用する。
また、各産業（例え：半導体、光電産業など）の自動化運搬する効果がアップする。
吸着面積があれば、真空チャックは場合によって応用も違う。