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碳化矽
碳化矽高硬度、低膨脹、耐腐蝕性,熱傳導率高,高溫環境下強度仍不改變
種類多樣,有SSIC、SiSiC、CVD SIC…等;有不同的適用範圍,應用範圍廣
嚴苛環境中有很好的穩定性表現
SIC
CVD SIC
材料別加工例一覧
氧化鋁
耐高溫、耐磨耗、絕緣性佳
高硬度、低膨脹、
耐腐蝕性,熱傳導率高
氮化鋁
高熱傳、高阻抗、
高耐熱衝擊
矽
高純度、耐高溫
多孔陶瓷
透氣、耐溫、高穩定度
加熱器
高精度、均溫性佳
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