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加熱器
加熱器高精度、均溫性佳
有效提升製程良率
可依實際需求設計
材料別加工例一覧
氧化鋁
耐高溫、耐磨耗、絕緣性佳
碳化矽
高硬度、低膨脹、
耐腐蝕性，熱傳導率高
氮化鋁
高熱傳、高阻抗、
高耐熱衝擊
矽
高純度、耐高溫
多孔陶瓷
透氣、耐溫、高穩定度
高精度、均溫性佳
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